含氟氣體材料
高純度六氟化硫

 

  高純六氟化硫就是產品純度已達99.999%(5N)。黎明院是國內較早研究開發六氟化硫生產工藝的單位,取得數十項技術研究及革新成果。產品質量完全達到了LCD、TFT等生產工藝的需要。逐年隨著客戶的增多,目前已形成年產500噸的生產能力,并銷往美國、韓國、臺灣等國家和地區。

 

  分子量 146.06,常態下是一種無色、無臭、無毒、不燃、無腐蝕性的氣態物質,化學穩定性強,近年來高純六氟化硫(99.999%)在電子行業的應用發展迅速,是優良的蝕刻氣體。

 

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   高純六氟化硫在微電子行業中的應用,主要可作為優良的蝕刻氣體,在光導纖維制造中,可作為單膜光纖隔離層摻添劑,還可作為重要的激光材料用在激光技術中。

 

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